OLYMPUS 현미경

올림푸스 레이져 컨포컬 현미경 OLS5100

올림푸스 LEXT™ 시리즈 3D 레이저 측정 현미경은 높은 이미지 품질과 정확한 3D 측정 기능을 제공하며

고급 광학 시스템으로 비파괴 관찰이 가능합니다.

작동 준비가 쉽고 샘플에 대한 사전 처리가 필요하지 않은 LEXT OLS5100 현미경은

효율적인 표면 거칠기 측정 도구입니다.

OLYMPUS 현미경

올림푸스 레이져 컨포컬 현미경 OLS5100

올림푸스 LEXT™ 시리즈 3D 레이저 측정 현미경은 높은 이미지 품질과 정확한 3D 측정 기능을 제공하며 고급 광학 시스템으로 비파괴 관찰이 가능합니다. 작동 준비가 쉽고 샘플에 대한 사전 처리가 필요하지 않은 LEXT OLS5100 현미경은 효율적인 표면 거칠기 측정 도구입니다.

· 405nm 레이저
Confocal 광학 시스템 ·

레이저 Confocal 광학 시스템은 405nm 레이저 다이오드 광원과 고감도 PMT를 사용하여 Cofocal 이미지를 획득합니다. 이 시스템은 초점심도가 얄으므로 표면의 불규칙성을 정확히 측정할 수 있습니다.

레이저 광원

짧은 파장의 레이저를 사용하는 레이저 현미경은 가시 광(피크 값 550nm)을 사용하는 기존 현미경보다 평면 해상도가 뛰어납니다. OLS5100 현미경은 405nm의 레이저 다이오드를 사용하여 탁월한 평면 해상도를 제공합니다.

레이저 Confocal 광학시스템

레이저 Confocal 광학 시스템은 샘플에서 반사되고 산란된 모든 빛을 받지 않고 핀홀을 통해 초점이 맞춰진 빛만 받아들입니다. 이를 통해 흐릿해지는 현상(blur)을 방지할 수 있으며 일반 현미경보다 명암 대비가 더 높은 선명한 이미지를 얻을 수 있습니다.

· 405nm 레이저 Confocal 광학 시스템 ·

레이저 Confocal 광학 시스템은 405nm 레이저 다이오드 광원과 고감도 PMT를 사용하여 Cofocal 이미지를 획득합니다.

이 시스템은 초점심도가 얄으므로 표면의 불규칙성을 정확히 측정할 수 있습니다.

레이저 광원

짧은 파장의 레이저를 사용하는 레이저 현미경은 가시 광(피크 값 550nm)을 사용하는 기존 현미경보다 평면 해상도가 뛰어납니다. OLS5100 현미경은 405nm의 레이저 다이오드를 사용하여 탁월한 평면 해상도를 제공합니다.

레이저 Confocal 광학 시스템

레이저 Confocal 광학 시스템은 샘플에서 반사되고 산란된 모든 빛을 받지 않고 핀홀을 통해 초점이 맞춰진 빛만 받아들입니다. 이를 통해 흐릿해지는 현상(blur)을 방지할 수 있으며 일반 현미경보다 명암 대비가 더 높은 선명한 이미지를 얻을 수 있습니다.

· 최고 성능의 3D 및 거칠기 측정 ·
서브마이크로 수준의 3D관찰/ 측정

나노미터 범위에서 형상을 관찰하고 서브 마이크로 수준에서 높이 차이를 측정할 수 있습니다.


ISO25178을 준수하는 표면 거칠기 측정

선거칠기부터 면거칠기까지 다양한 표면 거칠기를 측정할 수 있습니다.


비접촉·비파괴 방식의 빠른 측정

별다른 샘플 전처리 없이 스테이지에 샘플을 올려 놓기만 하면 측정 준비가 완료됩니다.

· 최고 성능의 3D 및 거칠기 측정 ·
서브마이크로 수준의 3D관찰/ 측정
ISO25178을 준수하는 표면 거칠기 측정
비접촉·비파괴 방식의 빠른 측정

나노미터 범위에서 형상을 관찰하고 서브 마이크로

수준에서 높이 차이를 측정할 수 있습니다.

선거칠기부터 면거칠기까지 다양한 표면 거칠기를

측정할 수 있습니다.

별다른 샘플 전처리 없이 스테이지에 샘플을

올려 놓기만 하면 측정 준비가 완료됩니다.

· 신뢰할 수 있는 데이터 ·

LEXT 전용렌즈 구성으로 정확도가 높은 데이터를 얻을 수 있으므로 측정 정확도를 보증할 수 있습니다.

정확성 및 반복 정밀도 보증
· 신뢰할 수 있는 데이터 ·

LEXT 전용렌즈 구성으로 정확도가 높은 데이터를 얻을 수 있으므로 측정 정확도를 보증할 수 있습니다.

정확성 및 반복 정밀도 보증
· 광범위한 데이터 획득 ·

컬러 이미지, 레이저 이미지, 3D 형상 데이터를 하나의 필드 안에 동시에 획득할 수 있는 3D 측정모드, 필드의 중앙에 단일 선의 형상을 획득하는 단일선 측정 모드 등 다양한 이미지 획득 모드를 사용할 수 있습니다. 얇은 필름 두께를 측정할 수 있는 필름 두께 모드가 있습니다.

3D 측정모드 (컬러 이미지, 레이저 이미지, 3D 형상)
단일성 측정 모드 (형상)
필름 두께 (다층 모드, 결합 모드)

넓은 영역에서 고해상도 측정이 가능한

스티칭 모드

평면 방향으로 데이터를 스티칭하여 최대 3600만 픽셀의 넓은 영역에서 정확한 데이터를 얻을 수 있습니다. 대상 영역은 매크로 맵에서 쉽게 지정할 수 있으며, 지정된 스티치 영역은 저장하여 나중에 불러올 수 있습니다.

스티칭 전
개별 2D 이미지
스티칭 후
2D 이미지
스티칭 후
3D 이미지

하드 디스크 스핀들 허브 (MPLAPON20XLEXT / 5x5 스티칭 됨)

· 광범위한 데이터 획득 ·

컬러 이미지, 레이저 이미지, 3D 형상 데이터를 하나의 필드 안에 동시에 획득할 수 있는 3D 측정모드, 필드의 중앙에 단일 선의 형상을 획득하는 단일선 측정 모드 등

다양한 이미지 획득 모드를 사용할 수 있습니다. 얇은 필름 두께를 측정할 수 있는 필름 두께 모드가 있습니다.

3D 측정모드 (컬러 이미지, 레이저 이미지, 3D 형상)
단일선 측정 모드 (형상)
필름 두께 (다층 모드, 결합 모드)
넓은 영역에서 고해상도 측정이 가능한 스티칭 모드

평면 방향으로 데이터를 스티칭하여 최대 3600만 픽셀의 넓은 영역에서 정확한 데이터를 얻을 수 있습니다.

대상 영역은 매크로 맵에서 쉽게 지정할 수 있으며, 지정된 스티치 영역은 저장하여 나중에 불러올 수 있습니다.

스티칭 전 개별 2D 이미지
스티칭 후 2D 이미지
스티칭 후 3D 이미지

하드 디스크 스핀들 허브

(MPLAPON20XLEXT / 5x5 스티칭 됨)

· 작업 간 오차를 최소화하는
분석 기능 ·

LEXT 전용렌즈 구성으로 정확도가 높은 데이터를 얻을 수 있으므로 측정 정확도를 보증할 수 있습니다.

간편 분석

간편 분석 기능은 지정된 측정 영역의 높이, 선 폭, 표면 거칠기, 체적을 측정합니다. 체적 분석 시 기준 평면의 엣지(edge) 위치 및 임계값 등 자동으로 감지되므로 측정 결과가 안정적으로 얻을 수 있고 작업자의 숙련도에 따라 영향을 받지 않습니다.

두 개의 지정된 영역 간 높이 차이 및 거리 측정

지정된 영역의 체적 측정
지정된 영역의 엣지(edge)를 자동으로 감지하여 폭 측정
두 개의 지정된 영역 간 각도 차이 측정
지정된 영역의 표면 거칠기 측정
지정된 영역의 원형 형상을 자동으로 인식하여 기준 평면으로부터의 높이 및 반지름 측정
자동 보정 기능

자동 보정 전

자동 보정 후

프로파일 측정

표면 프로파일

· 작업자 간 오차를 최소화하는 분석 기능 ·
간편 분석

간편 분석 기능은 지정된 측정 영역의 높이, 선 폭, 표면 거칠기, 체적을 측정합니다.

체적 분석 시 기준 평면의 엣지(edge) 위치 및 임계값 등 자동으로 감지되므로 측정 결과가 안정적으로 얻을 수 있고 작업자의 숙련도에 따라 영향을 받지 않습니다.

두 개의 지정된 영역 간 높이 차이 및 거리 측정

지정된 영역의 체적 측정
지정된 영역의 엣지(edge)를 자동으로 감지하여 폭 측정
두 개의 지정된 영역 간 각도 차이 측정
지정된 영역의 표면 거칠기 측정
지정된 영역의 원형 형상을 자동으로 인식하여 기준 평면으로부터의 높이 및 반지름 측정
자동 보정 기능

자동 보정 전

자동 보정 후