MIX(BF+DF) |
렌즈 주변의 링에서 빛을 조사 암시야(DF) 감지 기능과 명시야(BF)의 가시성을 결합하여 기존 현미경으로 찾기 어려운 스크래치와 결함을 쉽게 감지할 수 있습니다. |
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BF(명시야) |
편평한 샘플에 적합 편평한 샘플의 미세한 구조를 관찰할 때 사용합니다 . |
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PO(편광) |
편광 샘플용으로 설계 이 방법은 두 개의 편광 필터를 직교하도록 배치하므로 샘플의 편광 속성에 따라 명암 대비와 색상을 볼 수 있습니다. |
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OBQ(측면) |
표면 불균일성 개선 이 방법을 사용하면 빛을 한 방향에서만 비추어 표면 불균일성을 개선할 수 있습니다. 이 방법은 불균일하거나 골이 진 샘플 그리고 잘린 흔적을 관찰하는 데 적합합니다. |
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DIC(미분 간섭) |
불균일성, 이물질, 스크래치 및 기타 결함을 나노 수준에서 시각화 이 방법으로 표면 불균일성을 나노 수준에서 시각화할 수 있습니다. 웨이퍼, 필름, LCD ACF 및 유리 표면을 관찰하는 데 적합합니다. |
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DF(암시야) |
스크래치 및 이와 유사한 결함을 감지하는 데 최적 산란 또는 반사광이 샘플 표면에 비스듬히 조사되어 먼지, 스크래치 및 기타 물체를 표시합니다. 먼지와 스크래치는 밝게 나타납니다. |
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(SR) Shaded Relief |
제품검사 및 표면 관찰목적에 최적 암시야를 기반으로 다양한 각도(360도)로 샘플에 빛을 조사한 후, 이미지를 실시간으로 합성 하므로 기존에는 보지 못한 정교한 표면의 디테일과 결함이 그림자에 의해 강조되어 선명하게 관찰 가능 합니다. |
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BF |
SZX2-CBF BF Standard SZX2-CBFH BF High Contrast SZX2-CBFL BF Low Contrast |
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OBLIQUE |
SZX2-COB Oblique Standard SZX2-COBH Oblique High Contrast SZX2-COBL Oblique Low Contrast |
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DF |
SZX2-CDF DF |
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PO |
SZX2-CPO PO |
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